面向CMUT阵元的阻抗匹配设计与声场特性测试

摘要：

为解决电容式微机械超声换能器(CMUT)声发射能力弱、输出声压低的问题,根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路.在此基础上,测试阻抗匹配前后CMUT的轴向声场与辐射声场指向性.测试结果表明:在相同测试距离或偏转角度时,阻抗匹配后的CMUT输出声压明显提升,且不会影响CMUT的声场特性.通过实验验证与对比分析,该阻抗匹配电路有效改变CMUT的阻抗特性,提升声发射能力,为CMUT的实际应用提供解决方案.

关键词：电容式微机械超声换能器、阻抗匹配、Smith圆图、声场特性

所属期刊栏目：41

分类号：TP212;TB552(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科研仪器研制项目;国家重点研发计划

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：89-92