10.13873/J.1000-9787(2020)08-0004-05
压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望
评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状,并根据目前某些关键技术的突破,梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果.按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研,对PRVS的发展趋势进行了初步预测.
真空传感器、真空计、压电谐振、弯曲振动、音叉
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TP212(自动化技术及设备)
国家高技术研究发展计划“863”计划资助项目2015AA043505
2020-08-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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