柔性湿度传感器制作技术研究

摘要：

在聚酰亚胺柔性衬底上采用微机电系统(MEMS)加工技术制作了用于智能可穿戴系统的柔性湿度传感器,传感器具有耐弯折、可穿戴、测量精度高、响应时间短的优点.实验采用湿度发生器、盐箱、LCR电桥对传感器的容值、输出特性、响应时间进行了检测分析.分析结果表明:该柔性湿敏电容对人体皮肤及环境湿度响应良好,传感器输出值与相对湿度呈现良好的线性关系,线性相关系数0.999,湿度检测范围(10～90)％RH,非线性0.79％RH,响应时间6 s.实验采用的MEMS加工工艺技术成熟,可以实现批量生产.

关键词：柔性湿度传感器、聚酰亚胺、微机电系统(MEMS)

所属期刊栏目：39

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2020-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-47