基于PZT薄膜的微系统器件研究进展

摘要：

对当前基于锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)薄膜微系统器件的研究进展进行了综述,对PZT传感器、PZT能量收集器、PZT驱动器的研究进展以及采用不同工艺PZT薄膜的制备技术进行了阐述.对基于PZT薄膜微系统(MEMS)器件的发展趋势进行了展望.

关键词：锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、传感器、能量收集器、驱动器

所属期刊栏目：39

分类号：TP212;TN305(自动化技术及设备)

在线出版日期：2020-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,10