硅基压电MEMS球形矢量水听器设计

摘要：

为实现水听器体积微型化,提高其固有频率并保证灵敏度,提出了一种新型无源器件,即基于压电效应的微机电系统(MEMS)一维球形矢量水听器.使用COMSOL软件进行仿真设计,确定器件关键尺寸.采用MEMS工艺加工制得器件并进行测试,结果表明:该水听器灵敏度达到-205 dB(0 dB =1 V/μPa),固有频率可达到1.6 kHz,具有良好的一维指向性.

关键词：微机电系统(MEMS)、压电效应、矢量水听器、灵敏度

所属期刊栏目：39

分类号：TP212;TB565.1;TH703(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目;2019年河北省自然科学基金青年科学基金资助项目;2019年度河北省高等学校科学研究计划资助项目

在线出版日期：2020-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：84-86