局部高效的SEM下三维测量法*

摘要：

针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法.首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D—SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜( VHX—6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征.结果表明:所提方法有效可靠.

关键词：微纳测量、视差—深度映射、极线校准、稠密视差获取

分类号：O436;TP212(光学)

资助基金：基金项目:国家自然科学基金资助项目51675208;湖南省自然科学基金资助项目2019JJ70077;湖南省教育厅优秀青年项目18B552

在线出版日期：2019-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：133-135