10. 13873/J. 1000—9787(2019)11—0133—03
局部高效的SEM下三维测量法*
针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法.首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D—SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜( VHX—6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征.结果表明:所提方法有效可靠.
微纳测量、视差—深度映射、极线校准、稠密视差获取
O436;TP212(光学)
基金项目:国家自然科学基金资助项目51675208;湖南省自然科学基金资助项目2019JJ70077;湖南省教育厅优秀青年项目18B552
2019-11-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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