基于PVDF的高压电性薄膜制备工艺研究

摘要：

针对国内的聚偏二氟乙烯(PVDF)压电传感器仅限于实验室阶段,仍需要大量进口的现状,通过对PVDF压电特性分析,结合传感器产品的结构,进行PVDF压电传感器的制备工艺的研究.对工艺过程中的初始薄膜制备、单轴拉伸、高压极化和磁控溅射等主要工艺进行制备工艺参数的探索,获得了PVDF压电敏感薄膜,并采用聚酰亚胺材料进行封装,得到PVDF压电传感器.对该传感器进行关键参数静态压电系数d33的测试,结果为13.1PC/N,获得了满足实际工程使用的PVDF压电传感器产品.

关键词：压电效应、压电系数、聚偏二氟乙烯(PVDF)、制备工艺、传感器

所属期刊栏目：38

分类号：TP212.13(自动化技术及设备)

资助基金：国防技术基础科研项目JSZL2016212C001

在线出版日期：2019-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,43