10.13873/J.1000-9787(2019)05-0010-03
MEMS纳米量热传感器基底结构与材料仿真
通过对微机电系统(MEMS)纳米量热传感器原理与热损耗机理分析,借助有限元分析(FEA)软件研究不同结构、材料种类的基底对纳米量热传感器热分布、功耗的影响,并通过对纳米量热信号的仿真,验证了器件的可行性,进而依据仿真结果对纳米量热传感器的性能进行优化.研究可以为其他不同类型的量热器件的仿真与设计提供参考依据.
热分析、微机电系统、有限元、纳米量热技术、热损耗、热容
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TP212.1(自动化技术及设备)
2019-05-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
10-12,16