10.13873/J.1000-9787(2018)12-0046-03
MEMS加速度计横向输出抑制技术
建立了微机电系统(MEMS)结构的力学模型,分析了横向输出产生的根本原因;基于压阻效应,充分利用对称结构和电桥的抵消作用抑制横向输出;利用MEMS体硅工艺制作了量程100 gn的加速度芯片.讨论了加工、封装、测试过程中引入的敏感轴偏离,提出了解决方案.测试结果表明:样品横向灵敏度比可以达到1%,能够满足国防、汽车、工业、消费电子等各领域的应用需求.
微机电系统、加速度计、横向输出、对称结构
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TP305.94(计算技术、计算机技术)
2019-01-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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