10.13873/J.1000-9787(2018)12-0001-04
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状.
碳化硅、微加工工艺、高温、电容压力传感器
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TP212(自动化技术及设备)
2019-01-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
1-4,12
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10.13873/J.1000-9787(2018)12-0001-04
碳化硅、微加工工艺、高温、电容压力传感器
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TP212(自动化技术及设备)
2019-01-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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