应力隔离法在蓝宝石压力传感器结构设计中的应用

摘要：

对硅-蓝宝石硅压力传感器C型弹性膜片接头结构和E型弹性膜片接头结构进行建模分析,优化设计应力隔离槽结构,并应用于硅-蓝宝石压力传感器一体化设计的弹性膜片与接头结构.较好地解决了硅-蓝宝石压力传感器的零点输出、满量程输出在不对称安装应力下产生偏移,影响传感器的测量精度的问题,使传感器的安全性、可靠性进一步提高,优化结构后的传感器在航天领域具有广泛的应用.

关键词：结构设计、压力传感器、仿真分析、应力隔离

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2018-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：158-160