微量程段的热式气体质量流量传感器研制

摘要：

研制了一种微量程段的热式气体质量流量传感器.传感器芯片通过微机电系统(MEMS)工艺制备,芯片包括上下游测温电阻器和环境电阻器,其中测温电阻器有4只,对称分布在芯片中央位置,构成惠斯通电桥,芯片工作中采用恒压模式驱动.当气体流过芯片表面时,会导致检测电桥不平衡,流量信号变化转换为相应的电压信号.通过实验标定了传感器的输出曲线并对传感器的精度进行了测试,测试结果表明:研制的传感器在流量0 ～5 mL/min的量程范围内,具有响应速度快、精度高的优点.

关键词：微机电系统、微量程、气体质量流量传感器、高精度

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2018-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：117-118,130