基于SOI压阻式噪声传感器的声学动态特性分析与设计

摘要：

针对绝缘体上硅(SOI)压阻式噪声传感器的动态测量问题,利用声学特性分析基础进行声学结构设计,以保证噪声传感器的频响特性.设计了一种SOI感声膜芯片及与声腔结构构成的声敏感结构,通过调整结构参数可达到调整声腔的频率特性的目的.测试结果表明:噪声传感器具有良好的动态检测特性.

关键词：绝缘体上硅噪声传感器、声学动态特性、感声膜、声敏感结构

所属期刊栏目：37

分类号：TB56(声学工程)

在线出版日期：2018-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-63,69