基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器
万方数据知识服务平台
应用市场
我的应用
会员HOT
万方期刊
×

点击收藏,不怕下次找不到~

@万方数据
会员HOT

期刊专题

10.13873/J.1000-9787(2018)05-0010-03

基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器

引用
为了进一步降低微机电系统(MEMS)电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器.与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制作方法可以通过有效减小电极间距,大幅度提升传感器的灵敏度,大幅降低工艺成本.介绍了柔性微电极的加工工艺流程,并对传感器的性能进行了测试.结果表明:提出的地震检波器较基于硅衬底微电极器件灵敏度提高了一个数量级.

电化学地震检波器、微机电系统、柔性电极、高灵敏度

37

TP212.1(自动化技术及设备)

国家重大科学仪器研制专项项目2013YQ12035703;国家"863"计划资助项目2014AA0158;国家重点研发计划资助项目2016YFC0301801

2018-05-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

10-12

相关文献
评论
暂无封面信息
查看本期封面目录

传感器与微系统

1000-9787

23-1537/TN

37

2018,37(5)

相关作者
相关机构

专业内容知识聚合服务平台

国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304

©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1

信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284

网络出版服务许可证:(总)网出证(京)字096号

违法和不良信息举报电话:4000115888    举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn

举报专区:https://www.12377.cn/

客服邮箱:op@wanfangdata.com.cn