10.13873/J.1000-9787(2018)04-0048-03
高成本和低成本MEMS加速度计性能比较研究
受微加工技术的限制,微机电系统(MEMS)加速度计在精度和可靠性方面存在劣势,针对这一问题,基于Allan方差分析法,对高成本和低成本的两种MEMS加速度计进行了实测和分析,得到了5项噪声系数,对两种传感器的性能进行了评估和对比,验证了Allan方差方法应用于加速度计误差辨识的可行性,并为加速度计的使用和研究提供了依据.
MEMS加速度计、噪声系数、性能对比、Allan方差
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TH89
2018-05-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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