热蒸发石墨烯基SnOx-Sn传感器气敏性研究

摘要：

通过化学气相沉积法制备石墨烯并采用热蒸发法在石墨烯上沉积锡(Sn)及其氧化物,得到石墨烯基SnOx-Sn气敏传感器,研究其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO2)气体的气敏性及SnOx-Sn膜厚和基底加热温度对传感器气敏性的影响.通过场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)等表征手段研究了石墨烯基SnOx-Sn气敏传感器的形态结构.

关键词：石墨烯、SnOx-Sn、热蒸发、甲醛、二氧化氮、气体传感器

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：全国大学生创新实验资助项目201510251062

在线出版日期：2018-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13