微型硅压阻式压力传感器研制

摘要：

结合多晶硅材料的压力敏感特性,通过在硅膜片上沉淀多晶硅压敏电阻及精密的微型化封装工艺,设计了微型硅压阻式土压力和孔隙水压力传感器.传感器通过将硅膜片在压力下的电阻值变化转换为电信号输出,通过标定实验得出:传感器的零点输出小,动态频响高,线性拟合度高,且适用于监测精度要求高的实际工程及受尺寸限制的室内模型试验.

关键词：微型、硅压阻式、土压力、孔隙水压力

所属期刊栏目：36

分类号：TP216(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51778312,41502304;山东省重点研发计划资助项目GG201703200019;山东省自然科学基金青年科学基金资助项目ZR2016EEP06

在线出版日期：2017-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：106-108