精密光学元件表面疵病检测技术研究

摘要：

依据光学元件表面疵病存在的对比度低、边界模糊等特性,以及现有的自动化检测算法,提出了一种基于机器视觉的数字化评价系统,解决了疵病图像获取中的相机定位、图像采集、疵病检测、图像拼接以及疵病统计等自动检测技术问题.实验结果表明:系统实现了精密光学元件表面疵病的自动化检测,能够有效分辨微米(μm)量级的疵病,具有良好的疵病识别性能.

关键词：光学元件、疵病检测、图像处理、特征提取、图像拼接

所属期刊栏目：36

分类号：TP391.41(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51605253;浙江省自然科学基金资助项目LY16E050011;浙江省公益技术应用研究项目2016C31127

在线出版日期：2017-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-27,31