基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法

摘要：

为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试,提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法.通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号,以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试.搭建了以现场可编程门阵列(FPGA)为核心的多频扫描测试系统,采用4个正弦扫频信号叠加进行测试,结果表明:多频扫描测试与稳态扫描测试精度基本一致,但测试效率提高了4倍.多频扫描测试方法在保证测试精度的前提下,显著提高了测试效率,能够更好地满足高Q值传感器及其在批量生产过程中的测试需求.

关键词：多频扫描、硅微谐振压力传感器、频率特性

所属期刊栏目：36

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：西北工业大学中央高校基本科研业务费资助项目3102015BJIIMYZ24

在线出版日期：2017-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19