高精度电容式MEMS加速度计系统设计

摘要：

在传统Σ-Δ架构基础上,引入了低精度高速模/数转换器(ADC),将前置放大器输出的模拟电压信号转换为数字信号,有利于简化电容式微电子机械系统(MEMS)加速度计系统模拟接口电路设计.在嵌入ADC的MEMS加速度系统中,采用过采样平均数字算法对信号进行估计,有效降低系统对前置放大器噪声性能的需求,利于实现低功耗和高精度的设计目标.仿真结果表明:与未采用过采样平均技术相比,当前置放大器输出等效噪声大于1μV/Hz时,系统的信噪比(SNR)提高了约10dB.

关键词：微电子机械系统、Σ-Δ、模/数转换器、数字环路滤波器、过采样平均

所属期刊栏目：36

分类号：TP212;TN432(自动化技术及设备)

在线出版日期：2017-07-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-101,104