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10.13873/J.1000-9787(2017)06-0026-02

基于Bouc-Wen类迟滞模型的压电微动台建模

引用
针对压电微动台驱动时,由压电陶瓷产生的迟滞现象,提出了一种迟滞模型.基于Bouc-Wen迟滞模型的基本思想,并针对Bouc-Wen迟滞模型进行了优化改进,大大降低了模型参数的辨识难度,缩短了运算时间,保证了模型的较高精度要求.为了验证模型的正确性,运用相关的实验设备对模型进行了实验验证.结果表明:改进后的模型定位误差为0.1866μm,最大相对误差为0.467%,验证了模型具有较高的精度以及该迟滞模型的可行性,为后续压电微动台控制器的设计提供了一种可行方案.

压电微动台、Bouc-Wen模型、压电迟滞建模

36

TP271.4;TH701(自动化技术及设备)

国家自然科学基金资助项目51365021

2017-07-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

26-27,31

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1000-9787

23-1537/TN

36

2017,36(6)

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