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10.13873/J.1000-9787(2017)02-0011-03

微型热导检测器温控模块研究

引用
作为微型气相色谱仪(Micro GC)的关键部件的微型热导检测器(Micro TCD),其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素.从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到了温度波动对系统噪声的影响,并详述了Micro TCD加热模块的电路部分和算法部分.测试表明:Micro TCD的温度波动约为0.09℃,达到了商用GC控温精度的标准.

微型气相色谱仪、热导检测器、噪声、PID算法

36

TN609(电子元件、组件)

上海市科委项目14DZ1105102;国家自然科学基金资助项目60876081,61172151;国家“863”计划资助项目2009AA04Z317

2017-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

11-13,17

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传感器与微系统

1000-9787

23-1537/TN

36

2017,36(2)

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