谐振式MEMS磁传感器接口电路设计

摘要：

介绍了一种谐振式微系统（MEMS）磁传感器的接口电路，电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器（DDS）产生磁传感器驱动信号，同时为检测电路提供同步信号；信号检测处理电路对磁传感器输出信号和 DDS 产生的同步信号进行同步解调，最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。

关键词：微系统磁传感器、直接数字频率合成器驱动、同步解调、接口电路

所属期刊栏目：35

分类号：TN709(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51577186，51306200。

在线出版日期：2016-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：87-89,93