MEMS阈值可调开关的仿真与实验分析

摘要：

微系统（ MEMS）阈值可调开关是一种适用于弹药类型的通用碰炸开关，靠捕捉碰撞目标时的前冲惯性力而闭合。此开关除了受惯性力和静电力之外，还受到可动电极和驱动电极之间由于空气阻力而产生很大的阻尼力的影响。利用Coventor wave软件中的Saber系统仿真法，对设计的开关结构进行瞬态特性分析，仿真结果表明：开关在不同加速度信号下，阈值加速度与电压基本上呈反比关系，且随着阈值加速度的增大，电压减小。对加工的开关样件进行实验检测，实验结果表明开关可以实现阈值可调。

关键词：微系统、阈值可调开关、特性分析、实验检测

所属期刊栏目：35

分类号：TM564.6(电器)

资助基金：福建省高校产学合作项目2015H6021；厦门市科技项目3502Z1430030；国家“863”计划资助项目2015AA042701

在线出版日期：2016-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31