MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望

摘要：

微机电系统（ MEMS）产品的广泛应用使得晶圆级测试技术必要性日益凸显。分析了国内和国际MEMS晶圆级测试系统硬件和MEMS晶圆级测试技术的现状。参照国际上利用RM8096/8097标准物质（ RM）对MEMS产品进行计量测试的方法，给出了针对我国现有MEMS晶圆级测试系统校准问题的初步解决方案。并指出了该类测试系统今后向着标准化模块化方向发展的趋势。

关键词：微机电系统、晶圆级测试系统、测试技术、标准物质

所属期刊栏目：35

分类号：TB972(计量学)

在线出版日期：2016-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,7