微球探针制备工艺的优化

摘要：

为了解决现有激光微球探针加工技术中存在的探针尖端微球球心偏离针杆中轴线的问题,提出了一个两步法加工策略.以CO2激光光束为热源,对探针针杆尖端进行加热,使针杆尖端受热融化产生微球.然后将带有微球的探针针杆绕其中轴线旋转180°,再使用CO2激光光束辐照带有微球的探针尖端,对尖端微球偏移量进行补偿.实验结果表明:采用“熔球-旋转再熔球”的两步法加工策略,能明显降低探针尖端微球相对于针杆的弯曲程度,缩小探针尖端球形球心和针杆中心线的偏移距离.

关键词：CO2激光、微探针、微球尖端、中心偏移

所属期刊栏目：35

分类号：TH711(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51405314;中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目KF15004;中央高校基本科研业务费资助项目2015SCU04A12

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：77-79