10.13873/J.1000-9787(2016)08-0030-03
集成加速度传感器敏感芯片性能影响因素及其仿真分析
从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手,分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非线性等性能的影响.同时利用结构分析软件ANSYS进行仿真分析,并对优化后的敏感芯片结构参数进行验证,结果表明:该结构的敏感芯片使加速度传感器灵敏度能够达到10 mV/gn以上,非线性优于2%.
集成加速度传感器、敏感芯片、结构参数
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TP212.1(自动化技术及设备)
2016-10-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
30-32,36