基于光场耦合的时栅位移传感器设计

摘要：

为了实现制造成本低、易加工、高精度的位移测量,设计了一种光场耦合式的时栅位移传感器.介绍了利用基于交变光场的两路驻波合成电行波信号,并通过鉴相的方式实现空间位移转换的测量原理;完成了传感器的结构设计,给出了传感器的系统框图,具体分析了信号处理电路的功能.实验结果表明:光场耦合式的时栅位移传感器在108 mm范围内误差为±0. 5μm.

关键词：位移测量、光场耦合、行波合成、时栅传感器、误差曲线

所属期刊栏目：35

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET-13-1065;重庆市教委科学技术研究项目KJ130801

在线出版日期：2016-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：113-115,119