基于重掺杂的谐振式传感器频率温度系数补偿研究

摘要：

MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理.频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术.通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术.实验表明:P型掺杂浓度达到7 × 1019/cm3 时,〈110〉晶向频率温度系数降低到-11. 68 ×10-6/K;N型掺杂浓度达到6 ×1019/cm3 时,〈100〉晶向谐振频率是温度的二次函数,在80℃左右频率温度系数有过零点.首次实验演示了利用低功耗加热控制结合N型重掺杂,当环境温度由30℃变化到40℃时,谐振频率温度漂移仅为1. 13 ×10-7/℃.利用该技术可实现超高温度稳定性的谐振式传感器.

关键词：谐振式传感器、振荡器、频率温度系数、温度补偿

所属期刊栏目：35

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2016-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-41,45