10.13873/J.1000-9787(2015)09-0055-03
一种基于TiO2纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究
通过水热法使TiO2纳米棒阵列直接生长在叉指电极之间,并制备成湿度传感器.纳米棒疏松多孔,直径大约20 nm,长度1μm.在相对湿度6%~97%RH的范围内传感器的电阻变化达3个数量级,感湿曲线的线性较好,湿滞较小.由于纳米棒生长方向一致,形成了许多有利于水分子进出的水汽通道,有效提高了传感器的响应特性,该传感器的响应时间为2s,恢复时间为6s.
TiO2纳米棒阵列、湿度传感器、水热法、叉指电极、响应时间
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TP212.2(自动化技术及设备)
国家自然科学基金资助项目61171050;电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题项目KFJJ201015
2015-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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