一种基于TiO2纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究

摘要：

通过水热法使TiO2纳米棒阵列直接生长在叉指电极之间,并制备成湿度传感器.纳米棒疏松多孔,直径大约20 nm,长度1μm.在相对湿度6％～97％RH的范围内传感器的电阻变化达3个数量级,感湿曲线的线性较好,湿滞较小.由于纳米棒生长方向一致,形成了许多有利于水分子进出的水汽通道,有效提高了传感器的响应特性,该传感器的响应时间为2s,恢复时间为6s.

关键词：TiO2纳米棒阵列、湿度传感器、水热法、叉指电极、响应时间

所属期刊栏目：34

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61171050;电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题项目KFJJ201015

在线出版日期：2015-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-57