基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计

摘要：

提出一种新型的设有环形结构微热板的硅基ZnO微气体传感器.利用ANSYS软件,将环形电极结构与传统的蛇形结构进行温度分布的模拟仿真,发现该结构能供给传感器更高的温度且中心温度分布均匀,进而解决了现有传感器功耗大的缺点.通过对RF磁控溅射ZnO薄膜的工艺摸索,得出了适宜作气敏薄膜的制备参数.该传感器在250℃下对(200～1 000) ×10-6CH4气体有很好的响应.

关键词：环形微热板、气体传感器、ZnO薄膜、RF磁控溅射

所属期刊栏目：33

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275491

在线出版日期：2014-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：89-91