一种MEMS高gn值加速度传感器的结构设计与仿真

摘要：

高gn值加速度传感器在侵彻武器等领域受到广泛应用,对量程、灵敏度、固有频率等指标也提出了更高的要求.设计了一种MEMS高gn值加速度传感器,在传统梁-岛结构加速度传感器的基础上进行了改进,采用主微梁互补结构在提高固有频率、量程的同时,提高了灵敏度.在梁的末端提出了新式的延伸梁结构设计,大大减小了集中应力的现象,提高了结构的抗过载能力.利用ANSYS有限元分析软件,对该加速度传感器进行了静态、模态和瞬态分析.经仿真验证,该MEMS高gn值加速度传感器的各项指标均满足要求,具有明显的优越性.

关键词：MEMS高gn值加速度传感器、延伸梁、ANSYS、仿真

所属期刊栏目：33

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2014-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：77-80