基于MEMS加速度传感器的位移检测系统

摘要：

为了实现对物体运动位移的检测,设计了一种以国产高精度MEMS电容式加速度传感器MSCA3002为核心,24位高精度A/D转换器ADS1255,高性能ARM处理器LM3S2B93为主控制器的位移检测系统,并详细给出该系统的硬件电路及其软件算法设计.系统将传感器检测到的物体运动的加速度,经过积分算法转换为物体运动位移.实验结果表明:系统采样精度高、速度快、误差小,A/D转换器对加速度信号的检测精度能达到0.4％,积分后对位移的测量精度能控制在3％左右,很好地实现了对运动位移的检测.

关键词：微机电系统、传感器、加速度、位移、算法

所属期刊栏目：33

分类号：TN609(电子元件、组件)

在线出版日期：2014-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：79-81