硅微静电悬浮加速度计实验研究

摘要：

硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率.设计了一种玻璃-硅-玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性.采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮.在大气环境下测试了静电加速度计的性能.测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220gn;y轴的带宽为118.2Hz,量程为0.313 gn;z轴的带宽为10.7Hz,量程为3.53gn.

关键词：微机电系统、微机械加速度计、静电加速度计、静电悬浮

所属期刊栏目：33

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：国家自然科学基金资助项目41074049;航空科学基金资助项目20100858005

在线出版日期：2014-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36