10.3969/j.issn.1000-9787.2014.03.010
硅微静电悬浮加速度计实验研究
硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率.设计了一种玻璃-硅-玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性.采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮.在大气环境下测试了静电加速度计的性能.测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220gn;y轴的带宽为118.2Hz,量程为0.313 gn;z轴的带宽为10.7Hz,量程为3.53gn.
微机电系统、微机械加速度计、静电加速度计、静电悬浮
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U666.1(船舶工程)
国家自然科学基金资助项目41074049;航空科学基金资助项目20100858005
2014-04-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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