交流电沉积实现微纳器件定向连接研究

摘要：

使用交流电化学方法定向制备了预制微电极之间的电连接.通过调节交流电压与偏置直流电压幅值可以控制电连接的生长方向.如果施加的交流电压幅值高于生成电连接的电压阈值,并且该值恒定时,频率越小,浓度越大,电连接晶体越粗壮;而当电解液浓度与频率恒定时,电压幅值变化对形貌影响较小.有限元仿真模拟进一步说明:当施加的交流电压高于阈值时,电极处于交流电渗流上游.电极扩散层厚度增加将诱导电极之间电连接晶体的生长.在交流电压上叠加直流偏置电压时,电连接晶体从偏置电压相对较负的一端向另一端生长.伏安特性测试结果表明:该连接具有优异的接触特性.

关键词：电沉积、枝晶、电连接、接触电阻、交流电渗

所属期刊栏目：33

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目513752,51205276,51105267,51375263;博士后科学基金资助项目20110491629,2013T60268

在线出版日期：2014-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-7,11