10.3969/j.issn.1000-9787.2014.01.023
基于电子印刷工艺的薄膜热电偶研制
薄膜热电偶由于具有体积小、热容量小及响应速度快等优点成为近年来学者们研究的重点.薄膜制备常用的方法有射频溅射法、离子镀膜法以及直流脉冲磁控溅射法等,但这些方法操作设备复杂,制作时间长,效率低,成功率低且复现性差.用电子印刷工艺制备薄膜热电偶,将Au,Pt的溶液化微纳米材料印制在基板上,印刷成为Au-Pt薄膜热电偶,该方法操作方便快捷,对电极材料污染小.通过试验证明:采用电子印刷工艺制备的Au-Pt薄膜热电偶符合Au-Pt热电偶检定规程的要求,热电偶精度高,重复性和一致性好.
电子印刷工艺、薄膜热电偶、微纳米材料、Au-Pt热电偶
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TP212.1(自动化技术及设备)
2014-02-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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