基于厚度剪切振动的压电圆盘微陀螺的制作和分析

摘要：

基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现.为实现压电圆盘陀螺的小型化,设计制作了一种直接由压电材料作为振动体,基于厚度剪切振动模态工作的新型压电圆盘微陀螺.厚度剪切振动模态使得陀螺可以通过在压电基片上下表面制作金属电极的MEMS工艺进行加工.通过对加工出的陀螺器件进行阻抗分析发现加工出的陀螺具有良好的对称性,基于阻抗分析得到的品质因数通过有限元分析可知,陀螺可实现高灵敏度、低非线性度、大量程、低角速度耦合误差等性能.

关键词：压电、圆盘谐振体、微机械陀螺、厚度剪切振动、MEMS工艺

所属期刊栏目：32

分类号：TN389;TH712(半导体技术)

资助基金：教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET-10-0593;微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目9140C790405110C7904;上海交通大学研究生创新基金资助项目Z-340-014

在线出版日期：2013-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：115-117,121