孔结构对水平振动谐振器空气阻尼的比较分析

摘要：

基于SOI工艺的水平振动梳状硅微谐振器的品质因数Q值在真空封装下能达到105量级以上.但是在常压下,由于受到空气阻尼的影响,其Q值往往降至102量级甚至更小.增加谐振器质量可以提高Q值,但是会增大谐振器面积使绝缘层难以释放.由此提出了一种减小空气阻尼来提高水平振动谐振器Q值的方法,通过设计一系列不同形状的开孔硅微谐振器并比较其实验数据,得到最优的释放孔结构以减小谐振器所受的空气阻尼从而得到更高的Q值.该研究对水平振动谐振器结构设计有一定意义.

关键词：SOI、Q值、空气阻尼、水平振动、开孔硅微谐振器

所属期刊栏目：32

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：46-49