10.3969/j.issn.1000-9787.2013.07.024
HEMT微加速度计的结构优化设计
为满足HEMT微加速度计的高结构灵敏度和输出灵敏度的要求,对微加速度计的弹性结构进行了优化设计,得到一种全新的微加速度计折梁结构.利用ANSYS有限元分析软件对加速度计原结构和新结构进行仿真,通过计算和分析比较,结果表明:优化后加速度计结构合理,满足设计目标,新结构的结构灵敏度提高了1个数量级,输出灵敏度比之前增大了3倍.
微加速度计、结构优化、ANSYS有限元分析
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TP216;TH701(自动化技术及设备)
2013-08-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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