HEMT微加速度计的结构优化设计

摘要：

为满足HEMT微加速度计的高结构灵敏度和输出灵敏度的要求,对微加速度计的弹性结构进行了优化设计,得到一种全新的微加速度计折梁结构.利用ANSYS有限元分析软件对加速度计原结构和新结构进行仿真,通过计算和分析比较,结果表明:优化后加速度计结构合理,满足设计目标,新结构的结构灵敏度提高了1个数量级,输出灵敏度比之前增大了3倍.

关键词：微加速度计、结构优化、ANSYS有限元分析

所属期刊栏目：32

分类号：TP216;TH701(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80