一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法

摘要：

电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度.采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1,Cs2,Cf3个电容值,通过(1,0,-1 gn)三点即能确定标度因数(SF)和偏置电压,这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定.实验结果表明:通过多次自动定标,传感器标度因数的相对误差为0.79％.

关键词：电容式微加速度计、标度因数、自动标定

所属期刊栏目：32

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-63,67