热释电探测器敏感层材料关键性能参数测试

摘要：

热释电材料铌酸锂(LN)晶片可作为热释电探测器敏感层材料.介电常数和介电损耗是判断热释电材料性能的2个重要参数.为解决在测试参数时,测试数据量大,测试精度要求高、测试时间较长等问题,提出了一种自动采集、自动记录及处理的测试系统,并测试出减薄前后LN晶片的介电常数和介电损耗随温度的变化曲线.经过数据分析得出,LN晶片的相对介电常数随着温度的升高呈增大趋势,减薄前后其相对介电常数变化不是很大,减薄后略减小;而LN晶片的介电损耗随着温度的升高呈增大趋势,160℃以下增长缓慢,但在160℃以上迅速增大;LN晶片的介电常数和介电损耗随温度的变化情况基本符合低温条件下德拜模型偶极子弛豫.

关键词：介电常数、介电损耗、热释电、铌酸锂晶片

所属期刊栏目：32

分类号：TN307(半导体技术)

资助基金：国家"863"计划资助项目2006AA040101

在线出版日期：2013-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：147-149