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10.3969/j.issn.1000-9787.2013.02.021

基于PSD的长跨度孔系同轴度误差测量系统

引用
以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统.多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差.推导出激光自准直数学模型,根据该模型由四自由度工作台调整激光器位置,实现了激光自准直.使用本测量系统完成了激光自准直实验和孔系同轴度误差测量实验.实验结果表明:经准直后激光束与工件两端孔中心连线之间的偏差在±0.032 mm以内,与三坐标测量机相比,本系统同轴度误差测量的相对误差为8%,具备了较高的准直精度和同轴度误差测量精度.

长跨度孔系、同轴度误差、位置敏感探测器、激光自准直、激光光斑位置检测

32

TP212.9(自动化技术及设备)

沈阳飞机工业集团有限公司合作项目101130192

2013-03-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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传感器与微系统

1000-9787

23-1537/TN

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2013,32(2)

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