基于悬浮薄膜堆叠式结构的微气体传感器设计

摘要：

本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器,克服了以往同类传感器响应时间长,读取数据量小,功耗大等缺点.由于温度作为气体传感器的一个重要工作条件,其敏感薄膜上温度的均衡度直接影响气体传感器的工作性能.该传感器采用悬浮薄膜式堆叠结构,堆叠层主要包含硅基底、隔离层、加热电极、绝缘层以及敏感薄膜.这样的结构设计是为了形成热隔离真空腔,真空环境可以有效降低温度瞬变对敏感薄膜的影响.利用ANSYS软件建立该结构建模,并对其进行温度仿真后发现该结构符合预期的理论分析,其响应时间缩短,拾取的数据量大幅增加,同时功耗有效降低.

关键词：微气体传感器、悬浮薄膜堆叠式、ANSYS、结构设计、温度仿真

所属期刊栏目：31

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275491;山西省自然科学基金资助项目2012021013-4

在线出版日期：2013-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：94-96