全方位抗过载的压阻式三轴加速度计

摘要：

针对加速度计在碰撞中过载失效的问题,提出了一种基于SoI的具有抗过载能力的压阻式三轴集成加速度计.加速度计采用三质量块结构,利用深反应离子刻蚀(DRIE)释放出来的间隙实现横向过载保护,同时利用SoI片,在硅<100>平面上通过KOH腐蚀硅〈110>补偿条形成凸角实现纵向过载保护.封装后的加速度计利用激振台和落锤法进行了测试.测试结果表明:加速度计的三轴灵敏度分别为2.56,2.54,2.05 mV/gn,分辨率分别为0.53,0.87,0.77 mgn,三轴方向均具有超过3000 gn的抗过载能力.

关键词：压阻式、三轴集成加速度计、绝缘体上硅、抗过载

所属期刊栏目：31

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技重大专项资助项目2009ZX02038-003

在线出版日期：2013-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：87-90