四轴非正交位移传感器电路的设计分析

摘要：

针对压控型八电极静电悬浮支承系统位移测量难的特点,设计了一种四轴非正交位移传感器电路.分析了四轴非正交位移传感器的测量原理,给出了保证转子地电位的方法,分析了位移测量的系统灵敏度,设计出位移传感器电路,并给出一种从支承高电压中分离位移信号的电路.实验证明:该位移传感器可以准确检测出转子的偏移,提高测量精度,达到了设计要求,为八电极静电悬浮系统的测量提供了可靠的保证.

关键词：位移传感器、四轴非正交、八电极、悬浮系统

所属期刊栏目：31

分类号：TP206.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50577063,50504013

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：117-119,123