基于MEMS三相栅式位移传感器信号调理电路设计

摘要：

根据基于微机电系统(MEMS)的三相栅式位移传感器测量原理和输出信号特点,设计了一种信号调理电路.该电路主要由差分前置放大电路、带通有源滤波器和波形变换电路组成.波形变换电路设计采用了非线性放大方法来提高信噪比和检测灵敏度.以此信号调理电路搭建的位移测量系统读数稳定性达到1″,表明该电路稳定性达到测量要求.

关键词：微机电系统、三相栅式位移传感器、调理电路、非线性放大

所属期刊栏目：31

分类号：TP723(遥感技术)

资助基金：重庆市自然科学基金资助项目CSTC 2008BB2336

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：94-96