基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制

摘要：

研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定.Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求；比较法确定电导率传感器的电极常数为2.723,可以对一般水体的电导率进行测定；氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0.997 33接近于理论值,表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值.

关键词：微机电系统技术、Ag/AgCl参比电极、集成微电极、水质监测

所属期刊栏目：30

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：上海市科委科研计划资助项目09JC1416500,10391901600,1052nm06100;浙江理工大学科研启动基金资助项目0813827-Y;浙江省教育厅科研计划资助项目Y200909713

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：99-101,105