MEMS技术在THz无源器件中的应用

摘要：

太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好.太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域,太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级,传统的机械加工技术很难达到加工精度要求,甚至无法加工.MEMS技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势.总结了目前采用DRIE,LIGA等工艺加工太赫兹器件的研究现状,包括太赫兹传输波导器件、太赫兹传输线器件、慢波结构和特种复合结构的加工.分析了MEMS加工工艺的优缺点和在太赫兹器件加工中的应用前景.

关键词：太赫兹器件、微机电系统、LIGA、深反应离子刻蚀

所属期刊栏目：30

分类号：O451;TN432(无线电物理学)

资助基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金重点资助项目2008A0403016

在线出版日期：2011-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9