复合薄膜热导率测试系统研究

摘要：

针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统,设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统.该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成.软件编程在LabVIEW平台上实现.利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅薄膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率.在10-4Pa真空中,测得悬臂梁平均温度320～400K范围内的等效热导率在9～12w/(m·K),其热导率随着温度升高而增大,测试结果和理论值一致.实验表明:系统测试效率高、通用性好,且易于扩展.

关键词：微机电系统、薄膜、悬臂梁、热导率测试系统

所属期刊栏目：29

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60806038

在线出版日期：2011-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：76-78,81