基于石英玻璃基底湿敏元件的模型比较研究

摘要：

对基于石英玻璃基底制备的TiO2-20%SnO2薄膜湿敏元件进行复阻抗分析,采用Origin7.5软件绘出不同湿度下的复阻抗图.在Zsimpwin软件环境下,利用3种不同的等效电路模型对该湿敏元件的复阻抗图进行拟合和误差分析比较.研究表明:引入Q元件的等效电路模型是合理的,该等效电路模型便于对薄膜离子的扩散与感湿机理进行分析.

关键词：湿敏元件、等效电路模型、复阻抗图、Q元件

所属期刊栏目：29

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：内蒙古自治区自然科学基金资助项目2009MS0912

在线出版日期：2011-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：15-18